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在宝安崛起的深圳半导体邦畿里

恒运昌真空技艺股份有限公司的

白色厂房并不显眼

却藏着“中国制造”的康健脉动

十二年前，国内等离子体射频电源系统被国外巨头把握，乐卫平与共事一皆，在狭隘的车间里敲劣等一滑代码

如今，这家企业已手持224项专利，向国内龙头批量录用可撑持14纳米先进制程的等离子体射频电源系统，成为半导体拓荒要道零部件国产化的“隐形冠军”。

2002年，乐卫平未婚来到深圳，成为一家外企的射频工程师。后来十年间，他跑遍长三角、环京地区的晶圆厂，目击了国内半导体拓荒对入口等离子射频电源的依赖——价钱高、录用慢、服务难，一朝国外供应链“卡脖子”，整线拓荒就得停摆。

2013年，乐卫暖和几位共事一皆离职，用凑来的启动资金注册“恒运昌”。“恒”是永久领跑，“运”是趁势报国，“昌”是助业共荣，三个汉字浓缩了初创团队的初心。

公司设置的前两年，最难的是找东谈主。射频电源横跨电力电子、微波与电磁场、筹划机、自动适度、等离子体物理、机械、材料等多学科，懂工艺的东谈主不懂硬件，懂硬件的东谈主不懂半导体。乐卫平把东谈主脉“挖了个遍”，终于凑皆一支“跨界战队”——技艺靠攒，劝诫靠磨，家具靠拼，客户靠追。

2018年，国内一龙头拓荒商向恒运昌抛来“橄榄枝”，条目对标国外头部厂商技艺蓄意，拟定等离子体射频电源系统国产化决策。2020年，恒运昌接洽家具通过考证，后续逐步取得小批量至批量出货。

而后，国内一批知名半导体拓荒商陆续向恒运昌寻求妥洽，并快速收尾多种家具的录用和逐步放量。2022年至2024年，恒运昌营收从1.58亿元跃升至5.41亿元，净利润从2639万元增长至1.43亿元。

老本也随之而来。2021年起，恒运昌先后获国投创业、江苏瑞芯、中电科、北京光电等产业基金高频注资。公司于2021年5月迁入宝安区桃花源科技改进园，团队日渐壮大，分娩及研发拓荒逐步精采。

截止2024年底，恒运昌已累计取得224项授权专利，其中发明专利104项，承担工信部、科技部三项国度级课题。弗若斯特沙利文良友剖判，2023年恒运昌在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，市集份额位列第一。

射频电源系统的负载是动态变化的等离子体，时刻模范从纳秒到分钟、空间模范从埃米到300毫米晶圆，任何微弱的电流波动都可能导致整片晶圆报废。

为了把“哲学”变成“工程”

恒运昌把研发拆成三条阵线

第一条阵线是“技艺基石”

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在创立初期，恒运昌“重仓”技艺研发，开发出“等离子体射频电源的大功率及时等离子体阻抗测量技艺”等中枢技艺，为公司半导体级等离子体射频电源及匹配器的研发、分娩和销售奠定了塌实的技艺基础。

第二条阵线是“客户共创”

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前些年，国内某圆晶厂际遇“卡脖子”问题，无法向原国外拓荒供应商恳求采购备件或维修服务，中枢拓荒靠近停机。恒运昌接到遑急任务，第一时刻蚁集主干技艺力量开展针对性攻坚，顺利衔接该厂商入口等离子体射频电源系统的原位替换及维修。在雄壮技艺底气的撑持下，恒运昌与头部企业设置政策妥洽伙伴关系，两边深度定制、互为撑持，近百项中枢技艺对应酿成已授权发明专利，紧紧掌持行业民众竞速主动权。

第三条阵线是“供应链共生”

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在恒运昌物料清单上，111家深圳原土供应商、40多家珠三角区域供应商名字光显在列，从麇集器到电感、从电子猜测线材，高效脱手的两小时供应圈，有用缩短物流成本、增强供应链韧性。集群式发展态势，也让高下流伙伴之间交往密切、同频共振。

CSL系列匹配器

东谈主才是另一个要道。收尾2024年底，恒运昌职工近400东谈主，研发东谈主员占比超40%。2022年、2023年和2024年，恒运昌的研发插足别离为2154.21万元、3696.37万元和5528万元，一语气三年研发经费保持增长，复合年增长率约为60.19%；三年内累计插足近1.14亿元，占最近三年累计生意收入的11.11%。

当今，恒运昌酿成了3大基石技艺和8大众具化撑持技艺，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步适度、快速调频、脉冲适度等等离子体射频电源系统脱手中的要道技艺。推出的CSL、Bestda、Aspen三代家具系列，反应了半导体芯片制造工艺中平等离子体射频电源系统快、准、稳的中枢需求。

Bestda系列匹配器

站在2025年的门槛

恒运昌提倡

“守正改进”的下一个五年蓄意

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“守正”是连接深耕半导体

跟着半导体产业链国产化进度加速，恒运昌将不竭开展中枢技艺攻关，致力于先进制程半导体拓荒中枢零部件的研发分娩，丰富家具种类、提高技艺先进性水平，助力国内半导体拓荒要道零部件的全面自主可控。

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“改进”是跨域布局

恒运昌将大数据和东谈主工智能后果与公司射频电源系统家具的技艺相招引，发展等离子体射频电源技艺界限垂直大模子，促进射频电源瞎想技艺快速迭代；恒运昌将深刻中枢技艺并拓展在光伏、剖判面板、精密光学等其他界限的期骗，将半导体级家具所累积的技艺膨大至其他界限的家具中，创造新价值。

CSL系列等离子体射频电源

同期，恒运昌将紧跟集成电路制造技艺发展路子，梳理转头等离子体工艺技艺发展图谱，凝练接洽科学和工程问题，参与关联等离子体科学、等离子体期骗技艺、等离子体系统瞎想、等离子体期骗范例、等离子体工艺评价体系等一系列的等离子体微纳加工科学与技艺的短、中、永久发展权术，对持改进引颈和矍铄试验，是恒运昌不竭发展的政策接管。

单一由光刻驱动的微缩走到终点，GAA等结构驱动的微缩被合计是新旅途，名义修饰发展到净化单个原子层；异质集成和异构集成等为代表的旅途改进也越来越多，越来越颠覆性。上述工艺需要新的、具有挑战性的诸如各向同性、高接管性刻蚀、基于摆脱基或中性粒子的刻蚀工艺等，需要射频电源在脉冲、反当令刻、波形等技艺维度上进一步发展。关于公司而言，若念念提前卡位，则需加强并拓宽产业链高下流协同改进的力度和广度，以催生颠覆性的改进后果。

出海，亦然明天的业务重心

恒运昌家具已通过

CE、SEMI F47、SEMI S2等认证

公司关联庄重东谈主默示

将积极配合不同国度对半导体拓荒的安全与性能测试、升迁里面ESG处置水平至与国际程序持平，接力国外客户与市集的信任。

本年5月2日，恒运昌取得一项名为“可切换式阻抗匹配电路及等离子体产生安装”的专利。专利撮要剖判，本实用新式公开了一种可切换式阻抗匹配电路及等离子体产生安装，触及电气适度技艺界限，旨在提高阻抗匹配的速率以及对电路体积的缩减。

在技艺赛谈上走到极致，恒运昌还在努力。

（开始：宝安日报 记者 何一航）

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